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布鲁克斯流量计 流量范围里SLM代表什么意思
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第1个回答 推荐于2016-07-04
SLM代表的含义是,标准升每分钟,标准状态是0℃ 一个标准大气压
SCCM是标准毫升每分钟,
现在这种单位,用作,微小气体流量计,以及控制器的流量单位,广泛应用于真空半导体行业
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SLM
质量
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的单位分别是指的
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