在进行效率性审计时，内部审计人员需要关注的证据主要包括：首先，与生产、经营和管理流程相关的文件和资料，如计划、预算、设计图纸、业务流程图及其说明，以及管理流程图的书面材料。
其次，生产、经营业务和管理事务处理过程中的结果记录，无论是历史还是审计截止日的记录，都是评估效率的重要依据。
此外，国际和国家专业组织、行业协会制定的先进标准，以及行业主管部门制定的国家标准，这些都为评价效率提供了标准化的参考。
获取这些证据的方法主要有：审计人员会进行详细的文件审核，检查被审计单位提供的书面资料。
实地观察是另一关键步骤，通过对被审计单位的活动进行现场查看，审计人员能发现影响效率的流程问题或瓶颈。
询问是获取信息的直接手段，审计人员会询问相关人员，了解业务处理流程中的可能问题。
查询则可能涉及到跨机构的研究，寻找专业标准或寻求专家对流程科学性、合理性的意见。
计算是通过数据处理来评估效率，审计人员会运用审核、观察、询问和查询的结果进行计算。
最后，进行分析性复核，将实际效率与评价标准对比，这是确定效率性审计结论的重要环节。
效率性审计，是指内部审计人员对被审计单位的内设生产、经营和管理职能部门开展生产、经营和管理活动的效率所进行的审查和评价，是绩效审计的重要组成部分。效率性审计的目的，是通过审查和评价组织内部的生产、经营业务和管理性事务的处理流程，在确保投入小于产出、达到预定效果的前提下，促进改进和优化流程，提高组织的运作效率。