薄膜太阳能电池组件的制备流程是怎么样的

如题所述

1 真空镀膜(Vacuum coater): 采用溅射(Sputter)Mo喷射基底;CIG先驱膜(precursor); 2 硒化反应器 (selenization reactor): 高温真空环境使Se蒸汽与precursor反应CIGS吸光层; 3 化沉积(CBD), 通CBD沉积CdS
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