1 ç空éè(Vacuum coater): éç¨æº
å°ï¼Sputterï¼Moå·å°åºåºï¼CIGå
驱èï¼precursorï¼; 2 ç¡åååºå¨ (selenization reactor): é«æ¸©ç空ç¯å¢ä½¿Seè¸æ±½ä¸precursorååºCIGSå¸å
å±ï¼ 3 åæ²ç§¯(CBD), éCBDæ²ç§¯CdS
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