éæ¶/å¾®æ¶ç¡
èè太é³è½çµæ± çç产æµç¨
éæ¶ç¡
(a-Si)太é³çµæ± æ¯å¨ç»ç(glass)衬åºä¸æ²ç§¯éæ导çµè(TCO)ï¼ç¶åä¾æ¬¡ç¨ç离åä½ååºæ²ç§¯påãiåãnåä¸å±a-Siï¼æ¥çåè¸ééå±çµæé(Al).å
ä»ç»çé¢å
¥å°ï¼çµæ± çµæµä»éæ导çµèåéå¼åºï¼å
¶ç»æå¯è¡¨ç¤ºä¸ºglass/TCO/pin/Alï¼è¿å¯ä»¥ç¨ä¸éé¢çãå¡æçä½è¡¬åºã
ç¡
æææ¯ç®å太é³çµæ± ç主导ææï¼å¨æå太é³çµæ± ææ¬ä»½é¢ä¸ï¼ç¡
ææå äºå°è¿40%ï¼èéæ¶ç¡
太é³çµæ± çå度ä¸å°1μmï¼ä¸è¶³æ¶ä½ç¡
太é³çµæ± å度ç1/100ï¼è¿å°±å¤§å¤§éä½äºå¶é ææ¬ï¼åç±äºéæ¶ç¡
太é³çµæ± çå¶é 温度å¾ä½(ï½200â)ãæäºå®ç°å¤§é¢ç§¯çä¼ç¹ï¼ä½¿å
¶å¨èè太é³çµæ± ä¸å æ®é¦è¦å°ä½ï¼å¨å¶é æ¹æ³æ¹é¢æçµååæå
±æ¯æ³ãå
åå¦æ°ç¸æ²ç§¯æ³ãç´æµè¾å
æ¾çµæ³ãå°é¢è¾å
æ¾çµæ³ãæº
è°¢æ³åçä¸æ³çãç¹å«æ¯å°é¢è¾å
æ¾çµæ³ç±äºå
¶ä½æ¸©è¿ç¨(ï½200â)ï¼æäºå®ç°å¤§é¢ç§¯å大æ¹éè¿ç»ç产ï¼ç°æ为å½é
å
¬è®¤çæçææ¯ãå¨ææç 究æ¹é¢ï¼å
åç 究äºa-SiCçªå£å±ã梯度çé¢å±ãμC-SiC på±çï¼ææ¾æ¹åäºçµæ± ççæ³¢å
è°±ååº.è¿æ¯ç±äºa-Si太é³çµæ± å
çè½½æµåççæ主è¦å¨iå±ï¼å
¥å°å
å°è¾¾iå±ä¹åé¨å被på±å¸æ¶ï¼å¯¹åçµæ¯æ æç.èa-SiCåμC-SiCæææ¯påa-Siå
·ææ´å®½çå
å¦å¸¦éï¼å æ¤åå°äºå¯¹å
çå¸æ¶ï¼ä½¿å°è¾¾iå±çå
å¢å ï¼å ä¹æ¢¯åº¦çé¢å±çéç¨ï¼æ¹åäºa-SiC/a-Siå¼è´¨ç»çé¢å
çµåçè¾è¿ç¹æ§.å¨å¢å é¿æ³¢ååºæ¹é¢ï¼éç¨äºç»é¢TCOèãç»é¢å¤å±èåå°çµæ(ZnO/Ag/Al)åå¤å¸¦éå å±ç»æï¼å³glass/TCO/p1i1n1/p2i2n2/p3i3n3/ZnO/Ag/Alç»æ.ç»é¢TCOèåå¤å±èåå°çµæåå°äºå
çåå°åéå°æ失ï¼å¹¶å¢å äºå
å¨iå±çä¼ æè·¯ç¨ï¼ä»èå¢å äºå
å¨iå±çå¸æ¶.å¤å¸¦éç»æä¸ï¼iå±ç带é宽度ä»å
å
¥å°æ¹åå¼å§ä¾æ¬¡åå°ï¼ä»¥ä¾¿å段å¸æ¶å¤ªé³å
ï¼è¾¾å°æ宽å
è°±ååºãæé«è½¬æ¢æçä¹ç®çãå¨æé«å å±çµæ± æçæ¹é¢è¿éç¨äºæ¸å带é设计ãé§éç»ä¸çå¾®æ¶åæºæå±çï¼ä»¥æ¹åè½½æµåæ¶éã
为äºè·å¾å
·æé«æçãé«ç¨³å®æ§çç¡
åºèè太é³çµæ± ï¼è¿å¹´æ¥ååºç°äºå¾®æ¶ãå¤æ¶ç¡
èèçµæ± ãå¾®æ¶ç¡
èèæ¯éç¨å¤§æ°¢ç¨éåå¾®éæºç¡¼ææ¯å¶å¤çãå¤æ¶ç¡
èèçå¶é ææ¯ä¸»è¦æ两ç§ï¼ä¸ç§æ¯éç¨PECVDææ¯æçä¸æ³ç´æ¥çé¿ï¼å¦ä¸ç§åæ¯éè¿å¯¹a-Siâ¶Hææè¿è¡åéç«ï¼å®ç°ä½æ¸©åºç¸æ¶åã
温馨提示:答案为网友推荐,仅供参考