请问半导体行业设备中为何用石英,碳化硅,石墨这三种材料来做parts?+急~~~

Question

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Answer 1

石英材料可以有很高的纯度，半导体方面应用的石英材料，其杂质总量都在百万分之三十以下，不会污染被加工的半导体材料。可以做扩散炉管、硅片的转移工具、清洗槽等等。
碳化硅同样可以有很高的纯度，并且耐高温性能优越，可以做扩散炉管，例如圣戈班的碳化硅炉管性能极好，使用寿命超长。
石墨可以有很高的纯度，是电和热的良导体，在隔绝氧气的条件下可以做成优良的电阻发热元件，可以在高温下使用仍保持很高的强度。

这些材料的具体性能，可以查看词条，或在生产厂家的介绍上看到更多具体的数据和内容，这里就不一一详述了。