AWG(Arrayed Waveguide Grating),通信术语,指的是阵列波导光栅。
阵列波导光栅(AWG)是正在迅速发展的DWDM 网络的关键器件。1988年,荷兰Delft大学的Smit首先提出AWG 的概念。其重要的应用价值引起了NTT公司和Bell实验室等机构的关注。经过十多年的研制开发,已研制出多种不同的AWG器件,并开始用于DWDM 系统。
工艺简介:
AWG是第一个将平面波导线路(Planar Lightwave Circuit)技术应用于商品化的元件。其做法为在矽晶圆上沉积二氧化矽(SiO2)膜层,再利用微影制程(Photolithography)及反应式离子蚀刻法(Reactive Ion Etch)定义出阵列波导及分光元件等,接著在最上层覆以保护层即可完成。
由于AWG使用与一般半导体相同的制程,在多通道数的制作成本与低通道数相差不多,但更适合量产,而且整合度(integration)较高,因此在多通道元件及日后发展上具有相当的潜力。