电子直线加速器作为一种高能粒子加速器，其性能卓越，电子能量的上限可达数万兆电子伏特（MeV）。然而，考虑到工业辐射安全的需求，工业用的电子直线加速器最高能量通常限定在10MeV。这种设备在粒子注入和引出过程中表现出极高的效率，其束流强度受两个关键因素影响：一是注入器的入射强度，二是高频电源的负载能力。通常，电子直线加速器的工作模式是脉冲式的，由高频电源驱动，脉冲电流可达几百毫安（mA），而平均流强一般在1毫安至十几毫安（mA）之间，这意味着它们能够产生从1千瓦到十几千瓦的束流功率。
这种设备的高效能和灵活的脉冲工作方式使得它在工业应用中具有广泛的用途，如材料处理、科研实验等领域。然而，它的设计和操作必须严格遵循辐射安全标准，以确保工作人员和环境的安全。
电子直线加速器是指用微波电磁场加速电子的直线型加速器。根据微波的类型可分为行波和驻波型电子直线加速器，其电子能量一般都较高（大于5MeV），输出功率在几kW到几十Kw，在辐射加工安全许可范围内，高能（大于5MeV）电子对被照射物具有最深的有效穿透，因而得到广泛利用。