臭氧消毒机的工作原理主要分为高压放电式、紫外线式和电解式三种类型。
高压放电式臭氧消毒机通过高压电流制造高压电晕电场，使氧分子发生化学反应生成臭氧。工频发生器已逐渐被淘汰，而中、高频发生器因其体积小、功耗低和臭氧产量大而广泛使用。按气体原料区分，有氧气型和空气型，前者臭氧浓度高，后者相对较低。冷却方式上，水冷型更稳定，适合长期连续工作，但成本稍高；风冷型则性能相对较差，多用于中低档产品。
紫外线式臭氧消毒机利用特定波长的紫外线产生臭氧，但体积大、产量低且使用寿命短，主要用于小型空间如消毒碗柜的消毒。
电解式臭氧消毒机通过电解水产生臭氧水，成本低且操作简单，但产量小、电极寿命短和臭氧收集困难，主要用于特定场景或小型设备。
在选择臭氧消毒机时，应根据实际需求，考虑臭氧产量、冷却方式、成本和适用场景等因素，以确保设备的性能和效率。
臭氧消毒机主要用于食品药品化妆品等行业的加工车间和类似场所的空气灭菌和物体表面灭菌。臭氧消毒机按安装形式可分为：移动式、壁挂式、吊灯式、落地式等。臭氧消毒机在制药厂GMP车间和HVAC系统配套使用时，通常分为内置式和外置式两种。使用臭氧发生器制取臭氧的机器称为臭氧消毒机，这里臭氧作为消毒剂使用。