长春光机所2023年科技进步奖申报名单：金春水、王丽萍、王辉、张海涛、于杰、喻波、周烽、郭本银、姚舜、马冬梅、李春、邓文渊、谢耀、刘钰、苗亮。
从具体的获奖名单来看，中国科学院长春光机所有多项光刻光学技术及应用项目获奖，其中第13项的获奖项目是“极紫外光刻光学技术”，获奖等次是吉林省科技进步一等奖。
从获奖项目和名单来看，这是一个庞大的科技攻关项目，并不是单项的研发，而且相关技术确实是实现了突破，至少说是相关的项目攻关得到了验收或者进步。
客观地说，光刻机技术的突破并不简单，EUV光刻机共有三大核心技术，分别为EUV光源系统，高精度弧形反射镜系统、超高精度真空双工件台。
EUV光源系统技术来源于美国企业Cymer，2012年被ASML收购；高精度弧形反射镜系统，可以将激光进行收集成束，以及物镜系统，该技术来源于德国蔡司；超高精度真空双工件台，该技术来自于德国，整体打包方案都是德国TRUMPF公司提供。
长春光机所的科研部门
据2015年12月研究所官网显示，研究所有国家重点实验室3个、国家重点工程中心2个，中科院重点实验室2个。
此外，该所还设有空间光学研究一部、空间光学研究二部、空间光学研究三部、航空成像与测量技术研究部、光电对抗研究部、光电测控研究部、图像处理技术研究部、光学技术研究中心。
无人飞行器研究部、光电探测技术研究部、光栅技术研究中心、光电技术研发中心、星载一体化技术研究室、空间机器人中心、超精密光学工程研究中心、三维成像与虚拟现实技术研究室等科研部门。
国家重点实验室：应用光学国家重点实验室、发光学及应用国家重点实验室、激光与物质相互作用国家重点实验室。
国家工程技术研究中心：国家光栅制造与应用工程技术研究中心、小卫星技术国家地方联合工程研究中心中科院重点实验室：光学系统先进制造技术重点实验室、航空光学成像与测量重点实验室。
以上内容参考：百度百科-中国科学院长春光学精密机械与物理研究所