清顺治元年（1644）设立陕西等处承宣布政使司，三年改置陕西省，设巡抚，驻西安，并设川陕总督，十四年改设山陕总督。雍正九年（1731）又改为陕甘总督，十三年兼辖四川，乾隆十四年（1749）复改为陕甘总督，十九年兼甘肃巡抚事，二十九年移驻兰州。陕西省辖区约为今陕西省。领7府、5直隶州，分5道巡察。
西乾鄜道 治所设在西安，领1府、2直隶州：
西安府 治所设在长安、咸宁，领15县、1州、2厅。
乾州直隶州 明为散州，隶西安府。
鄜州直隶州 明鄜州，属延安府，清雍正三年（1725）升为直隶州。
潼商道 治所设在潼关，领1府、1直隶州。
同州府 明同州，属西安府，清雍正三年（1725）升为直隶州，十三年升为府。治所设在大荔。
商州直隶州 明商州，清初仍属西安府，雍正三年（1725）升为直隶州。
凤邠道 治所设在凤翔，领1府、1直隶州。
凤翔府 治所设在凤翔，领7县、1州。
邠州直隶州 明邠州，清初仍属西安府，雍正三年（1725）升为直隶州。
延榆绥道 明榆林卫，乾隆二十六年（1761）合并为延榆绥道。治所设在榆林，领2府1直隶州。
榆林府 清雍正八年（1724）撤销榆林卫，九年设立榆林府⑥，治所设在榆林，领4县1州。
延安府 治所设在肤施，领10县。
绥德直隶州 明绥德州，清初仍属延安府，雍正三年（1725）升为直隶州。
陕安道 治所设在南郑，领2府。
汉中府 治所设在南郑，领8县、1州、3厅。
兴安府 明兴安直隶州，清乾隆四十七年（1782）升为府⑾。治所设在安康，领6县、2厅。