容积泵：利用容积变化压缩气体。基本上中低真空都用这种方法抽取真空，比如液环泵、往复泵、旋片泵、滑阀泵等。
分子泵：高速刚体表面来携带气体分子实现抽气。现在以多级复合分子泵为主。
蒸汽喷射泵：通过喷嘴喷射高速蒸汽进入吸入室，吸入室内的气体被强制携带从而使吸入室口形成真空。主要有水蒸气喷射泵和扩散泵。
气体捕集泵：主要依靠低温冷凝，让气体丧失动能、进行吸附和捕集，或等离子作用进行捕集。主要有低温泵、离子泵等
分子泵：高速刚体表面来携带气体分子实现抽气。现在以多级复合分子泵为主。
蒸汽喷射泵：通过喷嘴喷射高速蒸汽进入吸入室，吸入室内的气体被强制携带从而使吸入室口形成真空。主要有水蒸气喷射泵和扩散泵。
气体捕集泵：主要依靠低温冷凝，让气体丧失动能、进行吸附和捕集，或等离子作用进行捕集。主要有低温泵、离子泵等
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